考虑卡西米尔力的静电激励NEMS吸合特性及其尺寸效应研究

• 作者: 周慎杰 张龙 梁斌斌 王炳雷
• 来源期刊: 固体力学学报
• 关键词: 卡西米尔力 纳机电系统 尺寸效应 最小间距 拉起长度
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 247-253
• 页数: 7页
• 语种: 中文

摘要

基于应变梯度理论和哈密顿原理,并考虑卡西米尔力的影响,建立了静电激励纳米机电系统(NEMS)的尺寸效应模型,并得到模型的控制方程和边界条件.然后,引入广义微分求积法和拟弧长算法,得到模型的数值解.结果表明,当考虑卡西米尔力的影响时,系统两极的吸合电压有所减小.并且,当系统尺寸达到一个临界值时(即两电极间距小于“最小间距”,或可变形电极长度超过“拉起长度”),系统会在没有外加电压的作用下自动发生吸合,这将为NEMS的优化设计和定量分析提供理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周慎杰		70	753	16.0	23.0
2	王炳雷		4	0	0.0	0.0
3	梁斌斌		2	3	1.0	1.0
4	张龙		3	5	2.0	2.0