新型重离子微孔膜蚀刻生产设备研制

• 作者: 傅元勇 吴振东 梁海英 焦学胜 鞠薇
• 来源期刊: 中国原子能科学研究院年报
• 学科: 工学
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 89-90
• 页数: 2页
• 分类号: TB383.2
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	焦学胜		5	0	0.0	0.0
2	吴振东		6	0	0.0	0.0
3	梁海英		2	0	0.0	0.0
4	傅元勇		2	0	0.0	0.0
5	鞠薇		1	0	0.0	0.0