一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究

• 作者: 廖旭东 李波 白国云 陈涛 黄颖军
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氦质谱检漏 反应时间 稳定时机 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 542-546
• 分类号: TP31
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2016.05.09

摘要

真空系统反应时间的准确获取对容器预抽真空、检漏信号读取、换气效率分析等有重要意义.本文分析了氦质谱检漏信号动态变化规律,运用最小二乘法线性回归原理,开展了检漏系统反应时间的获取方法研究,并通过编写软件实现了反应时间的快速获取,解决了在未知检漏系统体积与实际抽速的情况下,反应时间的获取问题.为进一步验证该方法的准确性,分别设计了不同体积的真空系统,开展了反应时间测量实验与研究,测得体积为6.19,11.61,19.88和40.78 L的真空系统反应时间分别为7.25,14.26,24.49,40.63 s,各线性相关系数均达到了0.99以上,数据重复性、线性度好,准确性高.研究表明,该方法可有效、快速、准确的获取反应时间,为检漏信号稳定时机的判断提供科学依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈涛	重庆大学机械传动国家重点实验室	33	394	8.0	19.0
3	廖旭东		11	17	3.0	3.0
4	白国云		12	52	3.0	6.0
7	黄颖军		5	13	3.0	3.0
8	李波		2	3	1.0	1.0