MPCVD法制备纳米金刚石薄膜的研究及应用进展

• 作者: 何硕 刘繁 汪建华 翁俊
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 纳米金刚石薄膜 应用
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 254-259
• 页数: 6页
• 分类号: O484|TQ164
• 字数: 3360字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.05.002

摘要

通过介绍不同气源和相关工艺参数（温度、功率等）对MPCVD法制备纳米金刚石的影响，并对部分学者的研究成果进行简述。然后简要概括了MPCVD纳米金刚石在各种窗口、宽禁带半导体功率器件以及生物医学中的应用，最后对纳米金刚石未来的发展做出展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	何硕	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	3	3	1.0	1.0
3	翁俊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
4	刘繁	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	22	74	4.0	8.0