钛酸锶钡薄膜的制备及其铁电性能研究

• 作者: 张田田 邓朝勇 黄哲观
• 来源期刊: 贵州大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶凝胶法 退火温度 快速热处理(RTP) 铁电性能
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 天文·地质·工业技术
• 页码范围: 62-66
• 页数: 5页
• 分类号: TB33
• 字数: 2317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15958/j.cnki.gdxbzrb.2016.02.14

摘要

本文采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备Ba0.5Sr0.5TiO3 (BST)铁电薄膜,研究了在退火时间为450 s条件下,溶胶浓度、退火温度以及涂膜层数对薄膜的结晶结构和铁电性能的影响.利用X射线衍射分析仪(XRD)、铁电测试仪对BST薄膜的微观结构和电学性能进行了表征分析.结果表明:当溶胶浓度为0.4 mol/L,涂膜层数为4层,退火温度为650℃时,BST薄膜的矫顽场(Ec)约为230 kV/cm,饱和极化值(Ps)约为18 μC/cm2,剩余极化值(Pr)约为7.5 μC/cm2,表明薄膜具有良好的铁电性能.当电场强度为175 kV/cm时,BST薄膜达到饱和状态时而未被击穿,此时薄膜的电流密度J约为0.29 μA/cm2,表明所制备的薄膜质量较好.