基于气体分析的工艺诊断技术

• 作者: 闫海莲
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制程 气体分析 工艺诊断技术
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TM615
• 字数: 2091字
• 语种: 中文

摘要

半导体制程中的扩散炉、氧化炉、真空炉、真空镀膜等设备，因其工艺过程复杂、工艺影响因素多而带来诸多的不确定性。本文阐述的是一种基于气体分析的工艺诊断技术，该技术通过分析反应腔内气体对工艺进行实时监控，以达到工艺过程分析、减少工艺诊断时间，并最终达到提高工艺质量和减少设备停机时间的目的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫海莲	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	1	1.0	1.0