坩埚高径比对泡生大尺寸蓝宝石单晶的影响

• 作者: 刘凯歌 姜建伟 彭小波 李玲 翟剑庞
• 来源期刊: 深圳大学学报（理工版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 晶体学 蓝宝石晶体 泡生法 温场模拟 发光二极管衬底材料 晶体缺陷
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 光学工程
• 页码范围: 599-605
• 页数: 7页
• 分类号: O78
• 字数: 4503字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1249.2016.06599

摘要

研究了高径比分别为1.36和1.50的两组坩埚在炉体内的轴向、径向温度梯度和液流情况.在两组坩埚中进行晶体生长实验,将生长出来的晶体进行掏棒和切片,并对晶棒进行应力和气泡检测,对晶片进行位错和双晶摇摆曲线检测.对比理论计算和实验结果表明,当纵横温度变化近似一次函数,且纵横温度梯度作用下的固液面的夹角在45°~60°时,可以有效降低应力,减少开裂几率;当熔体内部只有一个涡旋的时候,可有效减少晶体气泡;坩埚高径比为1.36时,能有效降低位错密度,提高结晶性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭小波	深圳大学机电与控制工程学院	11	17	3.0	4.0
2	李玲	深圳大学光电工程学院	16	26	4.0	4.0
3	翟剑庞	深圳大学光电工程学院	5	2	1.0	1.0
4	姜建伟	深圳大学电子科学与技术学院	1	0	0.0	0.0
5	刘凯歌	深圳大学机电与控制工程学院	1	0	0.0	0.0