基于四大先验特征的多类型线宽测量方法

• 作者: 侯志松 张宇 敖荟兰 郑臣 龙庆文
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 先验特征 多类型 线宽测量 自动切换
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 检测技术
• 页码范围: 26-30,64
• 页数: 6页
• 分类号: TN41
• 字数: 3247字
• 语种: 中文

摘要

提出了基于四大先验特征的线宽自动测量方法,将各类导线的边缘特征归纳为四大类.设计了三种自动切换的测量方法,通过预先分析导线的边缘特征并归类,再选用对应的测量方法测量.经验证导线的线宽测量,重复测量精度在2μm以内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	侯志松		7	3	1.0	1.0
2	龙庆文		6	11	3.0	3.0
3	敖荟兰		6	8	2.0	2.0
4	郑臣		1	0	0.0	0.0
5	张宇		1	0	0.0	0.0