栅条状和蜂窝状结构结势垒肖特基整流器（JBSR）性能对比

• 作者: 刘肃 柴彦科 高桦
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 结势垒肖特基整流器(JBSR) 沟道有效面积 电学特性 栅条形 蜂窝状
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 258-263
• 页数: 6页
• 分类号: TN315.2|TN314.2
• 字数: 3288字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2016.02.005

摘要

栅条状和蜂窝状平面结构的结势垒肖特基整流管（JBSR）的不同之处在于其沟道有效面积的大小不同。从这两种平面结构的结势垒肖特基整流管（JBSR）的工艺和电学特性来看，适当的增大JBSR器件的沟道有效面积，可使JBSR器件的击穿电压得到提高。蜂窝状平面结构JBSR器件的沟道有效面积较栅条状器件的小，开启电压低，但反向耐压不如栅条状平面结构JBSR器件，这可能是因为蜂窝状器件的P+区的缺陷较于栅条状结构器件的多，同样器件的I-V特性也与结构参数密切相关。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘肃	兰州大学物理科学与技术学院微电子所	68	261	9.0	11.0
2	高桦	兰州大学物理科学与技术学院微电子所	3	4	1.0	1.0
3	柴彦科	兰州大学物理科学与技术学院微电子所	4	5	2.0	2.0