化学气相沉积法制备纳微ZnO的实验和模拟研究进展

• 作者: 徐俊波 温浩 田亚峻 田会娟 郝斌
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳微结构氧化锌 化学气相沉积 局部气氛 数值模拟
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 33-40
• 页数: 8页
• 分类号: TQ11
• 字数: 4052字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2016.01.006

摘要

纳/微氧化锌材料性能优良,用途广泛,制备方法较多,其中化学气相沉积法(CVD)是较常用的方法之一.详细介绍了CVD方法制备纳米氧化锌的主要影响因素,概述了计算流体动力学(CFD)模拟在化学气相沉积法方面的应用和研究现状,并指出应该采用实验研究和计算模拟相结合的方法进行研究,利用计算模拟指导实验,从而实现纳微结构的可控生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温浩	中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室	54	493	13.0	20.0
2	郝斌	唐山学院环境与化学工程系	54	224	9.0	12.0
4	田会娟	唐山学院环境与化学工程系	15	30	4.0	5.0
10	徐俊波	中国科学院过程工程研究所中国科学院绿色过程与工程重点实验室	9	55	4.0	7.0
11	田亚峻		1	4	1.0	1.0