MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

• 作者: 冯辰 刘同冈 商金玮 赵志强
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 微摩擦磨损 摩擦副 测试仪器 分辨力
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 520-526
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2016.08.005

摘要

相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键.针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等探针类实验装置以及球-盘式、销-盘式、针-盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置,着重介绍了它们的工作原理和适用对象.并根据MEMS技术的发展现状,对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘同冈	中国矿业大学机电工程学院	62	419	11.0	16.0
2	赵志强	中国矿业大学机电工程学院	23	108	5.0	10.0
3	商金玮	中国矿业大学机电工程学院	2	3	1.0	1.0
4	冯辰	中国矿业大学机电工程学院	1	1	1.0	1.0