微机械应力测试结构的温度特性和应力抑制方法

• 作者: 刘燕锋 张嵘 陈志勇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械系统 应力测试结构 应力隔离结构 温度特性 热应力
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1345-1351
• 页数: 7页
• 分类号: O348.3|TH703
• 字数: 3816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162406.1345

摘要

研究了典型微机械应力测试结构的温度特性及从源头上抑制热应力的方法.设计了一种可以代表微机械系统(MEMS)器件温度特性的应力测试结构,并分析了温度对其固有频率的影响机理.指出了与材料弹性模量、结构尺寸变化相比,轴向应力是影响该结构固有频率温度稳定性的主要因素,同时设计了一种可以释放热应力以及加工残余应力的应力隔离结构.考虑硅的线膨胀系数随温度变化的特性,通过建模仿真和实验测试获得了应力测试结构、应力隔离结构的轴向应力以及固有频率的温度特性.结果表明:在-50℃～+85℃,应力隔离结构将轴向热应力抑制到了应力测试结构的2个数量级以下,固有频率-温度系数由5.0×10-3 ppm/℃左右降到了5.0×10-5 ppm/℃以下.结果显示:设计的应力隔离结构具有非常良好的应力隔离效果,从源头上抑制了主要的温度影响因素引入整个微机械系统,可以应用于其它MEMS结构以获得良好的温度稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈志勇	清华大学精密仪器系导航工程中心	28	352	11.0	18.0
2	张嵘	清华大学精密仪器系导航工程中心	63	721	15.0	25.0
3	刘燕锋	清华大学精密仪器系导航工程中心	2	8	2.0	2.0