柔性声表面波器件的波模式分析

• 作者: 何兴理 吴学忠 周剑 张伟策 肖定邦 董树荣 金浩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 柔性衬底 聚酰亚胺衬底 压电薄膜 波模式 S0兰姆波
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1328-1334
• 页数: 7页
• 分类号: TN65
• 字数: 1811字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162406.1328

摘要

用反应磁控溅射法在柔性聚酰亚胺衬底上沉积了ZnO压电薄膜,并制备了基于ZnO压电薄膜的柔性声表面波(SAW)器件.制备的柔性SAW器件显示了良好的谐振性能,而且展现出两个波模式:模式0和模式1.当波长为32μm,ZnO厚度为4μm时,SAW器件的模式0和模式1的谐振频率分别为34.4 MHz和158.5 MHz,对应声速为1 100.8m/s和5 072 m/s.模式0为已知的瑞利波,模式1为新的高频模式.沉积了不同厚度的ZnO薄膜制备柔性SAW器件,进一步分析了薄膜厚度对SAW器件和模式1的影响.分析认为该高频模式不是传统硬质衬底上SAW器件产生的Sezawa波,而是S0兰姆波,并且是有衬底情况下的S0兰姆波.文中还采用Comsol仿真分析了新的高频模式1的粒子振动位移,结果和S0兰姆波粒子振动位移一致,从而验证了其为广义兰姆波的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董树荣	浙江大学信息与电子工程学院	51	627	14.0	23.0
2	肖定邦	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	18	151	6.0	12.0
3	吴学忠	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	29	199	7.0	13.0
4	金浩	浙江大学信息与电子工程学院	27	227	10.0	14.0
5	周剑	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	8	53	4.0	7.0
6	张伟策		2	6	1.0	2.0
7	何兴理	福建工程学院信息科学与工程学院	3	6	1.0	2.0