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摘要:
随着信息产业的发展,集成电路(也就是常说的“芯片”)成为手机、平板电脑等电子移动终端离不开的设备,而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展,芯片越做越小,集成的电路越来越多,能使终端变得小巧玲珑。
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篇名 上海微电子“智”造中国芯
来源期刊 中国经济周刊 学科
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年,卷(期) 2016,(8) 所属期刊栏目 Exclusives 独家看点 -- 人物
研究方向 页码范围 43-44
页数 2页 分类号
字数 语种 中文
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