声表面波滤波器理论研究进展

• 作者: 张慧 郑英彬 陈颖慧
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波 Rayleigh波 压电效应 压电薄膜
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 467-473
• 页数: 7页
• 分类号: TN713
• 字数: 4740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201603.0467

摘要

为使声表面波(SAW)滤波器技术向更高的频段发展，对SAW滤波器的基础理论进行了分析：展示了压电材料压电效应(逆压电效应)的产生机理，并通过例子对比说明压电材料的晶体结构属性。介绍了重要的物理量机电耦合系数以及SAW传播的物理机理；重点推导了SAW在压电介质中的传播性质，并同非压电介质的传播特性进行了对比。得出SAW在压电介质中是非色散波，存在3个方向的质点位移分量；压电薄膜中SAW是色散波，且压电薄膜使得声表面波速度发生变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
2	陈颖慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	82	6.0	8.0
3	张慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	5	20	3.0	4.0