亚波长多台阶结构大角度激光分束器设计

• 作者: 周崇喜 方亮 李国俊 陈琪
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光栅 亚波长 多台阶结构 大角度激光分束 严格耦合波理论
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 光纤光学与光通信
• 页码范围: 167-173
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201643.0205006

摘要

分束角度是衍射型激光分束器件重要性能指标之一.目前对大角度衍射分束元件的研究局限于Dammann光栅,Dammann光栅依靠周期内相位突变点对入射光波进行调制,其分束均匀性对突变点精度非常敏感,现有加工技术无法满足设计精度的要求.针对这一问题,提出利用亚波长多台阶结构来实现大角度的激光分束,给出了一个1×16,入射光波长1.55 μm,衍射角29°的16台阶亚波长分束光栅设计实例.设计时利用标量理论获得一个多台阶结构作为初值,经严格耦合波理论结合遗传算法进行矢量优化后衍射效率达到89％,均匀性误差为4.53％.结果表明,亚波长多台阶结构能够实现大角度、高衍射效率以及高均匀性的激光分束.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈琪	中国科学院光电技术研究所	13	46	4.0	6.0
2	周崇喜	中国科学院光电技术研究所	28	264	10.0	15.0
3	李国俊	中国科学院光电技术研究所	12	59	4.0	7.0
4	方亮	中国科学院光电技术研究所	14	34	3.0	5.0