微波等离子清洗机的研制

• 作者: 张峰 王大伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路 静电损伤 微波等离子 引线键合
• 年，卷（期）: 2016,（10）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2364字
• 语种: 中文

摘要

微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤.简述了微波等离子清洗的原理及特点,介绍了设备的构成、清洗工艺和模式,对微波导入和微波源与负载的匹配两个关键技术进行了研究;通过工艺验证,微波等离子清洗降低了接触角度,提高了引线键合强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	太原理工大学机械工程学院	51	182	7.0	12.0
5	王大伟	中国电子科技集团公司第二研究所	8	18	2.0	4.0