一种高量程加速度传感器的性能测试与分析

• 作者: 冯恒振 智丹 杨志才 石云波 邹坤 陈艳香
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 高量程 双轴 面内 测试
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 18-20,34
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 1365字
• 语种: 中文

摘要

针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器,通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金 森杆冲击校准装置,测试了传感器的灵敏度和频响特性.试验结果表明:该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470±0.03μV/g,幅值误差士5％时,工作频带为15.5 kHz;Y轴方向的灵敏度为(0.517±0.03μV/g,幅值误差±5％时,工作频带为16.9 kHz.该加速度传感器实现了硅平面内2个轴向的高g值加速度信号测量,可以用于后期集成三轴高量程加速度传感器.