超低摩擦WS2/W-DLC固体润滑薄膜的制备与性能

• 作者: 姚克 岳文 方鹏 李星亮 王松
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石(DLC)薄膜 离子束辅助沉积 低温离子硫化
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 159-163
• 分类号: TB36
• 语种: 中文

摘要

利用离子束辅助沉积技术和低温离子渗硫技术制备了二硫化钨/钨掺杂类金刚石(WS2/W-DLC)复合薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)、透射电子显微镜(TEM)、纳米硬度仪(Nano-indenter)和多功能摩擦磨损试验机(UMT)考察了薄膜的微观结构与摩擦学性能.结果表明:制备的薄膜在大气环境下表现出优异的力学性能和超低摩擦的性能,该复合薄膜中,硬质强化相纳米碳化物WC1-x和软质润滑相过渡族金属硫化物WS2、FeS均匀镶嵌于类金刚石基体内形成复合结构,复合结构是薄膜表现出优异性能的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚克		29	256	10.0	15.0
2	方鹏		24	140	7.0	10.0
3	李星亮	中航工业集团公司北京航空精密机械研究所	1	7	1.0	1.0