基于图像清晰度检测的光栅刻划平台调平装置

• 作者: 丁健生 史国权 石广丰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅刻划 光栅刻划平台 调平装置 图像清晰度测量 评价函数
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 819-825
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20162404.0819

摘要

针对制备衍射光栅时刻划平台倾斜导致的光栅槽型误差,提出了一种基于图像清晰度检测与电动倾斜台调节的光栅刻划平台在线调平装置.建立了图像清晰度与光栅刻划平台倾角间关系的模型,应用该模型,控制光栅刻划平台在一定范围内实现了闭环动态调平.对上述理论研究进行了试验验证.试验结果表明,该调平装置简单可行;对于50 mm×50 mm的光栅毛胚,调平装置可控制刻划平台的水平倾角在4"以内,满足光栅刻划对平台定位精度的要求.该装置既可用于刻划前的调平准备,也可推广应用于光栅刻划过程中的实时检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石广丰	长春理工大学机电工程学院	69	202	6.0	11.0
2	史国权	长春理工大学机电工程学院	88	340	9.0	15.0
3	丁健生	长春理工大学机电工程学院	4	8	2.0	2.0