模拟浮法玻璃在线CVD制备SnO2∶Sb薄膜及其性能研究

• 作者: 刘晓娟 姜宏 崔永红 张振华 赵会峰 陈峰
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 模拟在线CVD镀膜 锑掺杂 遮阳 低辐射
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 1856-1860
• 页数: 5页
• 分类号: TB43|TB34
• 字数: 2742字
• 语种: 中文

摘要

利用模拟在线CVD镀膜的实验设备,通过改变原料参数而在玻璃表面制备了ATO系列薄膜样品,并通过紫外-可见-近红外分光光度计、XRD、SEM及方块电阻计等测试手段研究参数变化对膜层结构与性能的影响.结果表明:不同工艺参数下,所制备的薄膜均为四方相金红石型结构;当Sb掺杂量为3wt％,Sn/H2O摩尔比为2∶1时,制备出的薄膜样品性能表现为:可见光透过率为79.25％;方块电阻为20 Ω·口-1;遮蔽系数为0.66,其在保证良好采光的同时具备一定遮阳及低辐射性能,可满足市场需求.