SnO2:(Sb,In)透明导电薄膜的制备及其性能研究

• 作者: 张志勇 王雪文 赵武 邓周虎 闫军锋
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶疑胶 二氧化锡 透明导电薄膜
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳制造与微光机电系统
• 页码范围: 81-84,92
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 3338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2007.z1.023

摘要

采用溶胶凝胶(Sol-Gel)技术制备了SnO2∶(Sb,In)薄膜,优化了制备工艺参数,应用差示扫描量热仪-热重分析仪(DSC-TGA)、X射线衍射仪(XRD)等手段对薄膜进行了表征.结果表明,氯化亚锡、乙醇和水摩尔比为1∶20∶4时成胶状态最佳,当锑和铟的掺杂量分别为7 %和4 %时,在500 ℃氮、氢混合气氛下煅烧2 h制备的薄膜表面平整,方块电阻大约为40.5 Ω,紫外-可见光透射率达88 %.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张志勇	西北大学信息科学与技术学院	98	759	13.0	22.0
2	邓周虎	西北大学信息科学与技术学院	39	330	9.0	16.0
3	王雪文	西北大学信息科学与技术学院	45	408	11.0	18.0
4	闫军锋	西北大学信息科学与技术学院	19	119	7.0	10.0
5	赵武	西北大学信息科学与技术学院	29	269	8.0	15.0