ULVAC IH-860DSIC注入机系统解析

• 作者: 吴文涛 徐磊 王振亚
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 离子源 离子源加热静电吸盘 法拉第系统
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 19-25
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2221字
• 语种: 中文

摘要

介绍ULVAC IH-860DSI注入机系统的特点及其原理,在介绍其设备的基础上,着重分析这款注入机系统几个重要和特别的组成部分.根据多年的注入机设备维护经验,总结归纳ULVAC IH-860DSI注入机系统的优点和缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王振亚		4	2	1.0	1.0
2	徐磊		2	2	1.0	1.0
3	吴文涛		2	2	1.0	1.0