电容式薄膜真空压力传感器设计

• 作者: 宗义仲 崔宏敏 王凡 王文博
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式薄膜真空压力传感器 零点漂移 温度补偿
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 84-86,90
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 2589字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2017)03-0084-03

摘要

为了满足在工程型号上的使用要求,解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题;传感器输出信号非线性的补偿问题;传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题,采用电容式薄膜封装结构,壳体为电容的另一极,在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试,实现了传感器0.2%FS的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凡	中国电子科技集团公司第四十九研究所	15	44	4.0	6.0
2	崔宏敏	中国电子科技集团公司第四十九研究所	11	51	4.0	7.0
3	宗义仲	中国电子科技集团公司第四十九研究所	1	4	1.0	1.0
4	王文博	中国电子科技集团公司第四十九研究所	2	4	1.0	2.0