湿法腐蚀清洗设备中的循环管路应用

• 作者: 吴光庆
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 循环 湿法腐蚀清洗 硅腐蚀
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 16-18,35
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2352字
• 语种: 中文

摘要

湿法腐蚀清洗设备是集成电路、LED、太阳能、MEMS等芯片制造中必不可少的工艺设备,而为了更好的达到腐蚀效果,在各种腐蚀工艺中往往要配合药液的循环完成,从而达到更好的腐蚀均匀性.介绍了几种常用的腐蚀工艺循环原理及在湿法腐蚀清洗设备的典型应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴光庆	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0