Co2MnAl哈斯勒合金薄膜的制备与磁性研究

• 作者: 张宪民 潘醇荣 肖思炎 陈钦盛
• 来源期刊: 金属功能材料
• 关键词: Co2MnAl 磁性薄膜 哈斯勒合金 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 语种: 中文
• DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1005-8192.2017033

摘要

采用磁控共溅射方法制备了Co2MnAl哈斯勒合金薄膜.系统研究了衬底加热温度对Co2MnAl薄膜的晶体结构、磁学性质(饱和磁化强度和矫顽力)和表面粗糙度的影响.300℃时制备的Co2MnAl薄膜具有良好的B2晶体结构,显示了最大的饱和磁化强度和非常小的粗糙度.通过调控衬底加热温度,实现了Co2MnAl薄膜的矫顽力在400～2 785 A/m范围的调控.