电弧离子镀中Ti大颗粒空间传输过程中受力变化特征分析

• 作者: 宗晓亚 田修波 蒋志强 魏永强
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 薄膜 大颗粒 受力
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 第十一届全国表面工程大会论文
• 页码范围: 27-35
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.44|O53
• 字数: 5112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170222001

摘要

电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒缺陷是研究热点之一,文中利用尘埃等离子体的理论,以Ti大颗粒为研究对象,对电弧离子镀中大颗粒空间传输过程中的受力进行了分析,主要包括重力、离子拖曳力、热泳力、电场力等4种类型,对其影响规律、作用大小以及综合表现进行了总结,为有效避免大颗粒在薄膜表面的沉积概率提出了理论依据.通过对大颗粒传输过程中的空间受力的计算,发现大颗粒受到自身重力、热泳力、电场力和离子拖曳力的综合作用是影响其在薄膜表面数目变化的主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋志强	郑州航空工业管理学院机电工程学院	98	734	11.0	24.0
2	田修波	哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室	106	515	11.0	17.0
3	魏永强	郑州航空工业管理学院机电工程学院	16	57	4.0	7.0
7	宗晓亚	郑州航空工业管理学院机电工程学院	1	1	1.0	1.0