透明导电氧化物薄膜的抗伽马辐照性能研究

• 作者: 欧阳琪 王文文 郝维昌
• 来源期刊: 中国空间科学技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: In2O3:W薄膜 In2O3:Sn薄膜 伽马射线 光电性能 正电子湮没
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 75-83
• 页数: 9页
• 分类号: V254.2
• 字数: 5878字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控溅射法制备出具有良好光电性能的In2O3:W(IWO)薄膜,与购置的In2O3:Sn(ITO)薄膜一起,在伽马射线地面加速模拟试验设备中进行辐照试验.对辐照前后两种薄膜样品的微观结构、表面形貌、光电性能和元素价态进行对比分析,并用正电子湮没方法研究辐照前后的缺陷情况.结果表明,伽马射线辐照可引起ITO及IWO薄膜样品中氧空位缺陷的少量增加,且缺陷主要产生于薄膜表层及薄膜与基底界面结合处.高能伽马光子作用于透明导电氧化物薄膜,主要通过破坏其内部结合能较低的化学键,并实现薄膜系统中元素之间的选择性重组.ITO与IWO具有良好的抗伽马辐照性能,IWO相比ITO更适合于抗伽马辐照相关应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝维昌	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	44	459	11.0	20.0
2	王文文	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	20	103	5.0	9.0
3	欧阳琪	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	1	1	1.0	1.0