光刻技术首次绘出银纳米结构

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米结构 光刻技术 计算机数据处理 材料测试 美国化学学会 银 研究机构 电子器件
• 年，卷（期）: gxjmjx_2017,（3）
• 页码范围: 8-8
• 页数: 1页
• 分类号: TB383

摘要

德国柏林亥尔姆茨材料和能源研究中心与联邦材料测试与研究机构合作，首次在银材料底层上完成光刻纳米结构，为未来光计算机数据处理、新型电子器件制造开辟了新的途径。这项成果刊登在美国化学学会的《应用材料和界面》杂志上。