浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用

• 作者: 宋庆军 曹艳芬 闫凯
• 来源期刊: 超硬材料工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电镀金刚石线 切割 硅材料 应用现状
• 年，卷（期）: 2017,（4）
• 所属期刊栏目: 产业与综述
• 页码范围: 48-50
• 页数: 3页
• 分类号: TQ164
• 字数: 2609字
• 语种: 中文

摘要

电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟.文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹艳芬		3	8	2.0	2.0
2	宋庆军		14	19	2.0	4.0
3	闫凯		4	5	2.0	2.0