器件内部水汽含量控制的发展

• 作者: 杨迪
• 来源期刊: 信息技术与标准化
• 关键词: 器件 气氛检测 水汽含量 气体成份分析仪 行业发展
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 技术热点
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

通过分析2001～2015年器件内部水汽含量检测数据,进行水汽含量控制水平研究.器件内部水汽含量控制水平直接影响器件可靠性,通过气体成份分析仪可以对其进行直接检测,其检测结果按照器件内部各种气氛所占体积的百分比显示,而生产厂家技术改进促成了器件内部水汽含量控制水平的根本性改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨迪		3	5	1.0	2.0