一种MEMS电容式压力传感器的模糊稳健设计

• 作者: 康杰 张久超 谭晓兰
• 来源期刊: 机械设计
• 学科: 工学
• 关键词: 模糊模型 稳健设计 微传感器
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 现代装备制造技术与实例分析
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TH122
• 语种: 中文

摘要

通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进行稳健设计.对结果分析表明,稳健设计结果对噪声因素的误差是不敏感的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭晓兰		38	251	8.0	15.0
2	康杰		2	5	1.0	2.0
3	张久超		3	7	2.0	2.0