Nb2O5掺杂ZnO超高致密度陶瓷靶材的制备

• 作者: 尚福亮 杨海涛 王晨 董磊 高玲
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷靶材 烧结 掺杂 ZnO
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 试验与技术
• 页码范围: 3150-3154
• 页数: 5页
• 分类号: TM283|TF125
• 字数: 2282字
• 语种: 中文

摘要

采用传统的固相烧结技术制备了Nb2 O5掺杂ZnO陶瓷靶材,研究了不同烧结温度、Nb2 O5掺杂量对NZO靶材的电学性能、相对密度、抗弯强度的影响.结果表明:当烧结温度1200℃,Nb2 O5的掺杂量为0.4wt%时,其综合性能最佳,此时靶材电阻率为0.189Ω·cm,相对密度为99.46%,抗弯强度141.74 MPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高玲	深圳大学材料学院	10	105	5.0	10.0
2	杨海涛	深圳大学材料学院	18	56	5.0	6.0
3	尚福亮	深圳大学材料学院	10	38	4.0	6.0
4	王晨	深圳大学材料学院	2	0	0.0	0.0
5	董磊	深圳大学材料学院	9	14	2.0	3.0