飞秒激光制备多晶金刚石微结构阵列

• 作者: 李冀 梁国文 郭宝平 黄建衡
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 X射线光学 多晶金刚石微结构 飞秒激光微加工 X射线相衬成像
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 激光制造
• 页码范围: 99-105
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201744.0302007

摘要

飞秒激光加工是一种冷加工技术,能克服热效应的影响,使加工材料的边缘非常整齐和精确,对高熔点和硬脆材料的微细加工具有显著优势.为制备一种由金属靶和金刚石构成的X射线源微结构阵列阳极,提出采用飞秒激光加工技术加工金刚石微结构阵列,通过实验研究了飞秒脉冲激光加工多晶金刚石材料的工艺参量,重点分析了激光聚焦物镜、激光脉冲能量、重复扫描次数对金刚石微结构形貌和尺寸的影响,得到了符合制作要求的加工参量,并依据加工参量制作出了槽宽为20μm,槽深达45μm的高质量多晶金刚石微结构阵列,测得其表面可承受电子束轰击的最大功率密度为12W/mm2.该阵列将可用于制备微阵列阳极X射线源,为实现X射线大视场相衬成像提供关键的光源器件.