溶胶-凝胶法制备氧化锌薄膜的研究

• 作者: 张威虎 张富春 房慧 杨延宁 阮兴祥 黄灿胜
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 薄膜 氧化锌 溶胶-凝胶法
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 103-104
• 页数: 2页
• 字数: 1571字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在锌片和硅片表面制备氧化锌薄膜.采用XRD、SEM等分析测试手段对比了不同的配置比和衬底对氧化锌薄膜的相组成和显微形貌的影响.实验结果表明:与Si片相比,Zn片衬底对样品的衍射峰幅度产生一定的影响;所制备出来的样品都在衍射角2θ=34.4°附近出现衍射峰;当Zn2+浓度不同时,得到的ZnO薄膜的形貌不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨延宁	延安大学物理与电子信息学院	139	336	9.0	14.0
2	张富春	延安大学物理与电子信息学院	94	391	10.0	17.0
3	房慧	广西民族师范学院物理与电子工程学院	26	22	2.0	4.0
4	阮兴祥	广西民族师范学院物理与电子工程学院	9	2	1.0	1.0
5	张威虎	西安科技大学通信与信息工程学院	9	7	2.0	2.0
6	黄灿胜	广西民族师范学院物理与电子工程学院	9	12	2.0	3.0