品质因数对薄膜体声波谐振器振荡器频率稳定度的影响

• 作者: 吕军光 尹汐漾 王宇航 袁明权 韩宾
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜体声波谐振器 Pierce振荡器 品质因数 频率稳定度 相位噪声
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TN65|TN751.2
• 字数: 2110字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201729.160548

摘要

在薄膜体声波谐振器(FBAR)振荡器中,振荡器的有载品质因数(QL)和FBAR的品质因数(Q值)均与振荡器的频率稳定度有关.为了研究这两种品质因数对FBAR振荡器频率稳定度的影响,在COMSOL Multiphysics软件中建立了FBAR的多物理场模型,通过频域仿真和MBVD(Modified Butterworth-Van Dyke)模型参数拟合,得到了MBVD模型参数,并在ADS软件中建立了MBVD模型电路,通过S参数仿真结合求取Q值的Bode法得到了不同损耗对应的Q值;再建立基于Pierce架构的振荡器,通过谐波平衡仿真得到了相位噪声,通过分别改变QL和Q得到了二者对FBAR振荡器频率稳定度的影响.结果表明:频率稳定度随QL和Q的增大而增大,Q值随不同损耗的增大而减小.当FBAR的Q值低于338时,即使通过增大QL来提高频率稳定度,其效果也不佳,以此FBAR构成的振荡器将不能满足作为无线通信射频前端参考信号源或者FBAR传感器读出电路的要求.为FBAR参考信号源和FBAR传感器读出电路的设计提供了一定的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁明权	中国工程物理研究院电子工程研究所	17	63	4.0	7.0
2	韩宾	西南科技大学信息工程学院	49	226	10.0	13.0
3	吕军光	中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室	14	61	4.0	7.0
4	王宇航	西南科技大学信息工程学院	5	10	2.0	3.0
8	尹汐漾	西南科技大学信息工程学院	5	5	2.0	2.0