表面补偿的高雾度ZnO:Al及其在硅薄膜太阳电池中的应用

• 作者: 于威 刘大为 彭文博 杨彦斌 高虎 黄艳红
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺铝氧化锌 湿法刻蚀 太阳电池 雾度
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 页码范围: 1930-1935
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2017.10.010

摘要

采用稀盐酸对磁控溅射法制备的平面掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)薄膜表面进行湿法刻蚀制绒,分析了盐酸浓度和刻蚀时间对AZO薄膜表面的形貌特征和光电特性的影响.研究发现,湿法刻蚀导致AZO薄膜表面呈现大尺度的陨石坑形貌特征,随刻蚀时间增加,薄膜在大于500 nm的长波范围内光学透过率可维持在70%~75%,且800 nm处雾度值可高达48%,陷光能力快速增加,而面电阻率呈现逐渐增加趋势.高的盐酸浓度可以导致薄膜表面呈现较快凹型形貌特征,并可给出较高的雾度值.为了在保持高雾度值的条件下改善薄膜导电性,在2%盐酸刻蚀30 s所制备绒面沉积300 nm AZO薄膜进行厚度补偿,所获得薄膜的表面方块电阻小于10Ω/sq,以其作为前电极所制成的单结薄膜电池转换效率达到9.24%.结果表明,采用酸性刻蚀+厚度补偿方法所制备的绒面AZO薄膜可兼顾高雾度和低电阻的性能要求,是用作硅基薄膜太阳电池前电极的理想材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于威	河北大学物理科学与技术学院	91	346	9.0	13.0
2	杨彦斌	河北大学物理科学与技术学院	10	34	3.0	5.0
3	彭文博		9	25	2.0	5.0
4	刘大为		9	25	2.0	5.0
5	高虎		4	0	0.0	0.0
6	黄艳红	河北大学物理科学与技术学院	4	1	1.0	1.0