真空热处理对硫化锌薄膜光学与微结构特性的影响

• 作者: 刘华松 姜承慧 季一勤 张锋 李士达 杨霄 陈德应
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnS薄膜 折射率 消光系数 真空热处理 晶相结构
• 年，卷（期）: 2017,（8）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2038-2045
• 页数: 8页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2648字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172508.2038

摘要

针对电子束蒸发离子辅助沉积的硫化锌薄膜,研究了550 ℃以下真空热处理对其光学与微结构特性的影响.薄膜光学和微结构特性的测试分析表明:制备后薄膜为类立方结构的ZnS,在337.5 nm波长处出现临界特性转折点,随着热处理温度的增加,转折波长两侧的消光系数变化规律相反,折射率和物理厚度呈现下降趋势,薄膜的禁带宽度逐渐增加;在红外波段的薄膜折射率与热处理温度的变化并不显著,在350 ℃下热处理时消光系数出现转折,主要是由晶粒变小的趋势所致;通过晶相分析,硫化锌薄膜经历了类立方结构到六方结构的转换,与禁带宽度的变化趋势基本一致.分析结果表明,光学特性变化的根本原因是薄膜的微结构特性变化.