工艺参数对多弧离子镀TiAlN涂层铝含量和硬度的影响

• 作者: 周陶 汪振华 袁军堂 黄雷
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiAlN涂层 正交分析 Al含量 硬度
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 所属期刊栏目: 机械制造
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TG174
• 字数: 3261字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2017.05.004

摘要

为研究不同工艺参数对多弧离子镀制备TiAlN涂层性能的影响规律,设计了L9(34)正交试验表,并通过试验研究了弧电流、衬底负偏压、氮气/氩气流量比以及腔体压强对涂层Al含量和硬度的影响规律,得到了最佳工艺参数优化组合.结果表明:影响Al含量的因素按重要性排序依次是:腔体压强、氮气/氩气流量比、衬底负偏压、弧电流.影响涂层硬度的因素按重要性排序依次是:弧电流、氮气/氩气流量比、腔体压强、衬底负偏压.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪振华	南京理工大学机械工程学院	77	484	14.0	18.0
2	袁军堂	南京理工大学机械工程学院	113	706	14.0	19.0
3	周陶	南京理工大学机械工程学院	2	8	2.0	2.0
4	黄雷	南京理工大学机械工程学院	7	15	3.0	3.0