不同降温方式对单晶石墨烯氢气刻蚀的改善

• 作者: 段涛 王施达 英敏菊
• 来源期刊: 化工学报
• 关键词: 单晶石墨烯 降温方式 氢 催化 刻蚀 甲烷
• 年，卷（期）: 2017,（z1）
• 所属期刊栏目: 材料化学工程与纳米技术
• 页码范围: 254-259
• 页数: 6页
• 分类号: O77
• 语种: 中文
• DOI: 10.11949/j.issn.0438-1157.20170349

摘要

以化学气相沉积(CVD)的方法在铜衬底上制备了大尺寸的单晶石墨烯.研究了在3种不同降温方式下,石墨烯受氢气刻蚀程度的变化,以及在降温过程中通入甲烷后,对刻蚀的影响与改善,并对刻蚀机理进行了探讨.结果表明:经开盖降温的石墨烯受刻蚀最轻,随炉降温的样品受刻蚀次之,缓慢降温的样品受刻蚀最为严重.在降温过程中通入甲烷之后,3种样品的刻蚀都得到了进一步的改善,且开盖降温样品的结晶质量有大幅提升;随炉降温样品的结晶质量有小幅提升;缓慢降温样品的结晶质量有所下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	英敏菊	北京师范大学核科学与技术学院	6	3	1.0	1.0
3	王施达	北京师范大学核科学与技术学院	1	1	1.0	1.0
4	段涛	北京师范大学核科学与技术学院	1	1	1.0	1.0