高纯硅微粉中多个杂质元素的质谱分析

• 作者: 李坦平 聂西度 谢华林
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 化学
• 关键词: 高纯硅微粉 电感耦合等离子体串联质谱 杂质元素 原位质量 质量转移
• 年，卷（期）: 2017,（11）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 3636-3641
• 页数: 6页
• 分类号: O657.63
• 字数: 3494字
• 语种: 中文

摘要

建立电感耦合等离子体串联质谱(ICP-MS/MS)法在多元素分析中的应用.高纯硅微粉经氢氟酸+硝酸微波消解后直接采用ICP-MS/MS测定其中8个常见杂质元素(Na、Mg、Al、K、Ti、Fe、Cu、Zn).在MS/MS模式下,通过向碰撞反应池(CRC)中通入NH3/He,利用目标离子与NH3/He发生反应消除多原子离子质谱干扰,其中Na、Mg、Al、K、Zn采用NH3/He原位质量测定,Ti、Fe、Cu采用NH3/He质量转移测定,考察了NH3/He反应气流速待测元素分析结果的影响,优化并获得了最佳NH3/He反应气流速.选择Sc为内标元素校正样品传输、雾化效率以及信号强度变化时所产生的误差.8个待测元素的检出限为0.001~0.76μg/L,采用所建立的方法分析国家标准物质石英岩(GBW07835),测定结果与标准物质所提供的验证值基本一致,相对标准偏差(RSD)≤5.5%,表明方法具有准确性好和精密度高的特点,可用于高纯硅微粉中多个杂质元素的准确分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李坦平	湖南工学院材料与化学工程学院	47	112	6.0	9.0
2	聂西度	湖南工学院材料与化学工程学院	62	303	10.0	13.0
3	谢华林	长江师范学院化学化工学院	46	222	7.0	13.0