长景深阵列光学组件缺陷检测系统设计

• 作者: 刘钦晓 王方 王渊承
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 缺陷检测 波前编码
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 285-290
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201737.0322002

摘要

介绍了神光-Ⅲ中阵列光学组件缺陷的长景深检测系统的基本组成.利用在系统光阑处进行的相位调制,可以实现景深的延拓效果,从而可以实现在3～13 m物距范围内的大景深成像探测.进一步沦述了光学检测系统的设计指标、设计思想、设计结果及其仿真评价.模拟结果显示该系统可以实现3～13 m纵向范围内阵列光学组件缺陷的同时检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王方		3	0	0.0	0.0
2	刘钦晓		3	0	0.0	0.0
3	王渊承		1	0	0.0	0.0