非水解溶胶-凝胶法制备硅酸锆薄膜及抗碱腐蚀性能

• 作者: 冯果 刘健敏 李聪 江伟辉 胡庆 谭广繁 陈婷
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅酸锆 薄膜 非水解溶胶-凝胶法 抗腐蚀
• 年，卷（期）: 2017,（12）
• 页码范围: 2393-2398,2416
• 页数: 7页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 4057字
• 语种: 中文

摘要

以正丙醇锆和正硅酸乙酯分别为锆源和硅源,结合非水解溶胶-凝胶法和提拉镀膜工艺制备出硅酸锆(ZrSiO4)薄膜.采用XRD、FTIR、SEM、AFM等分析测试手段研究了前驱体浓度、提拉速度对ZrSiO4合成、ZrSiO4薄膜形貌及显微结构的影响,并研究薄膜的抗碱液腐蚀性能.结果表明:当前驱体浓度为0.1 mol/L、提拉速度为1 mm/s时可以在单晶硅片获得表面光滑、平整致密、无开裂的ZrSiO4薄膜.镀有ZrSiO4薄膜的单晶硅片在浓度为40％NaOH溶液中40℃条件下浸泡42 h,表面只发现有较小的坑蚀,且质量随腐蚀时间延长变化很小,质量损失仅为0.17％,表明该ZrSiO4薄膜具有较好的抗碱液腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江伟辉	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	101	615	14.0	20.0
3	陈婷		24	35	3.0	4.0
6	刘健敏		19	26	3.0	4.0
7	冯果		9	4	1.0	1.0
8	胡庆	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	5	4	1.0	1.0
9	谭广繁	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	3	2	1.0	1.0
10	李聪	景德镇陶瓷大学材料科学与工程学院	4	12	2.0	3.0