氯硅烷残液水解制备二氧化硅团聚的机理研究

• 作者: 徐卜刚 杨杰 董森林 蔡吉祥 赵义 陈樑 黄兵
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 氯硅烷残液 二氧化硅 位阻剂 团聚 机理
• 年，卷（期）: 2017,（5）
• 页码范围: 874-879
• 页数: 6页
• 分类号: X781.5
• 字数: 3220字
• 语种: 中文

摘要

多晶硅生成工艺中的副产物氯硅烷残液,具有腐蚀性强、产量大等特点.采用多晶硅副产物氯硅烷残液为原料进行水解反应生成二氧化硅.研究了以不同水解方式在不同水解体系中引入位阻剂及该位阻剂的时效性对二氧化硅团聚的影响以及机理研究.结果表明:气-液反应的水解方式产出的二氧化硅呈现颗粒状具有颗粒特性;水解体系中引入位阻剂后产物二氧化硅分散性好,颗粒均匀、粒径大小在2 μm左右;并且证实了位阻剂的位阻作用具有时效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈樑	昆明理工大学环境科学与工程学院	56	399	12.0	16.0
2	黄兵	昆明理工大学环境科学与工程学院	52	770	15.0	26.0
3	杨杰	昆明理工大学环境科学与工程学院	21	38	4.0	5.0
4	董森林	昆明理工大学环境科学与工程学院	2	6	1.0	2.0
5	赵义	昆明理工大学环境科学与工程学院	2	6	1.0	2.0
6	徐卜刚	昆明理工大学环境科学与工程学院	2	6	1.0	2.0
7	蔡吉祥	昆明理工大学环境科学与工程学院	1	5	1.0	1.0