适用于MEMS振动陀螺仪的相位读出自校准方法

• 作者: 李佳 王玮冰 许建军
• 来源期刊: 微型机与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械振动陀螺仪 自校准 精度 电信号
• 年，卷（期）: 2017,（19）
• 所属期刊栏目: 硬件与结构
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19358/j.issn.1674-7720.2017.19.012

摘要

相比于传统陀螺仪,MEMS振动陀螺仪具有体积小、质量轻、功耗低、价格低廉等优势,但是由于其本身结构的局限性和工艺加工水平的限制,其在性能上还处于低精度陀螺仪的行列.目前已有若干MEMS自校准方案可以应用于MEMS振动陀螺仪以提高其精度指标,然而已有的技术存在着只能消除某一种因素对精度的影响、需要高精度转台系统支撑或者校准的灵敏度不高等不足.为解决上述问题,设计并提出了一种基于相位读出的MEMS振动陀螺仪自校准方案,该方案能消除工艺误差、器件老化、外部环境变化对陀螺仪精度的影响,而且该方案不需要高精度转台系统支撑、能够消除绝大部分因素对精度的影响、校准的灵敏度更高.实验仿真结果表明,该方案能实现MEMS振动陀螺仪的自校准,提高测量精度,扩大MEMS振动陀螺仪的适用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李佳	中国科学院微电子研究所	90	658	14.0	22.0
2	王玮冰	中国科学院微电子研究所	15	46	4.0	5.0
6	许建军	中国科学院微电子研究所	1	1	1.0	1.0