纵弯复合型超声椭圆振动辅助抛光光纤阵列系统设计

• 作者: 严日明 余青 刘德福 陈涛
• 来源期刊: 振动与冲击
• 学科: 工学
• 关键词: 超声椭圆振动 光纤阵列 有限元分析 阻抗测试 化学机械抛光
• 年，卷（期）: 2017,（24）
• 页码范围: 242-249
• 页数: 8页
• 分类号: TG356.28|TB559
• 字数: 4999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13465/j.cnki.jvs.2017.24.036

摘要

对现有的化学机械抛光工艺难以满足光纤阵列组件高质量和高效率的要求,根据杆件的纵向振动和弯曲振动基本方程,设计了一种纵弯复合超声椭圆振动装置,用于光纤阵列组件的超声椭圆振动辅助化学机械抛光,以提高光纤阵列组件端面的抛光质量和抛光效率.所设计的纵弯复合超声振动系统实现了36 kHz下纵向4阶和弯曲13阶的同频超声振动.振幅测试试验结果表明,超声椭圆振动双向振幅分别为3 μm和2.5 μm,超声椭圆振动辅助化学机械抛光后的光纤端面粗糙度达到27.58 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘德福	中南大学机电工程学院	29	274	10.0	16.0
3	陈涛	中南大学机电工程学院	42	215	9.0	13.0
9	严日明	中南大学机电工程学院	4	16	2.0	4.0
10	余青	中南大学机电工程学院	2	26	2.0	2.0