耐高温合金薄膜压力传感器的设计 及仿真分析

• 作者: 谭苗苗
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 高温压力传感器 合金薄膜 仿真
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 机械研究与分析
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: TP391.7
• 字数: 481字
• 语种: 中文

摘要

研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义.文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力传感器.通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭苗苗	北京联合大学机电学院	18	21	3.0	3.0