TFT-LCD设备内Particle分析改善方法研究

• 作者: 刘园园 徐锋刚 李林杰 王鹏 郭兴奎
• 来源期刊: 电子世界
• 关键词: TFT-LCD ParticleSource ParticleMap ParticleSource消除
• 年，卷（期）: 2017,（18）
• 所属期刊栏目: 探索与观察
• 页码范围: 14-15,18
• 页数: 3页
• 字数: 1600字
• 语种: 中文

摘要

本文研究了一种快速寻找TFT-LCD制程设备内particle源并改善的方法,研究表明利用5W1H及相关性的科学分析方法建立粒子的分布模型-Particle Map,可快速定位particle源,使得Particle寻找及改善的过程大大缩短,快速降低异物不良,提升产品品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李林杰		3	1	1.0	1.0
2	刘园园		2	1	1.0	1.0
3	王鹏		2	1	1.0	1.0
4	徐锋刚		1	1	1.0	1.0
5	郭兴奎		1	1	1.0	1.0