基于微型传感器的近场辐射传热实验方法研究

• 作者: 余隽 冯冲 唐祯安 张俊星 施展
• 来源期刊: 传感器技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 微型传感器 二氧化硅 悬空薄膜 近场热辐射
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 21-30
• 页数: 10页
• 分类号: TP2

摘要

面向二氧化硅(SiO2)材料开展了近场辐射传热实验测量方法研究,其核心工作是近场热辐射传感器设计。首先,基于电磁波理论以两个平行的SiO2平板为对象分析近场热辐射的特性并以此确定近场热辐射传感器的关键参数;其次,根据近场热辐射的作用效果确定实验方案并设计相应的近场热辐射传感器;再次,基于经典传热理论确定实验模型,以及设计传感器的微加工工艺;最后,本实验方法在其他介质的近场辐射传热测量中的应用。