MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展

• 作者: 庄须叶 张军安 易剑 江南 郭述文
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 固体波动陀螺仪 超高Q值 单晶金刚石 3D超精密加工
• 年，卷（期）: 2018,（10）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 738-745
• 页数: 8页
• 分类号: V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2018.10.007

摘要

提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐振子的结构以外,最重要的还是提高谐振子材料本身的Q值.与现有的谐振子材料相比,单晶金刚石(SCD)具有更高的优质因数(材料固有频率×Q值),将是新一代MEMS固体波动陀螺谐振子材料的首选,而单晶金刚石MEMS固体波动陀螺仪将是未来惯性与制导领域争夺的制高点.依据国内外MEMS固体波动陀螺仪的研究现状,预测了未来高端MEMS固体波动陀螺仪的发展方向,总结了国内现有的大尺寸高品质器件级单晶金刚石的制备和加工现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江南	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	110	2450	30.0	46.0
2	郭述文	苏州大学微纳传感技术研究中心	10	39	3.0	5.0
3	易剑	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	4	5	1.0	2.0
4	庄须叶		5	19	2.0	4.0
5	张军安		1	5	1.0	1.0